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「薄膜」のキホン

麻蒔立男:著者

イチバンやさしい理工系

最新のパソコンやモバイル情報端末など、どんどんコンパクトになりながら性能は倍々ゲームで向上しています。LSIなどの半導体チップは、微細な薄膜を多重に積層しつつ、トランジスタなど必要な部品をつくりあげる最先端のナノテクノロジーから生まれています。大画面・薄型の液晶テレビや、大容量の記憶媒体など、いたるところで使われている薄膜技術。こうした現代のハイテク社会を支える基幹技術の「薄膜」を、本書はまるごと図解で解説します。

第1章 よい暮らしは美と微から
第2章 真空は薄膜づくりの重要な環境
第3章 薄膜をつくろう
第4章 薄膜には独特の性質が表れる
第5章 基板と薄膜を強く結びつけるための技術
第6章 薄膜づくりにはプラズマが大切
第7章 古くから用いられた蒸着法
第8章 大面積ソース・量産向きのスパッタ法
第9章 気体から薄膜をつくる気相成長法
第10章 液体の中で薄膜をつくる めっき
第11章 薄膜を回路やトランジスタに加工するエッチング
第12章 薄膜を使って前進 その可能性はかぎりない

定価:1,650円(本体1,500円+10%税)

書籍情報

  • 発売日:2010年9月18日(土)
  • ISBN:978-4-7973-5713-4
  • サイズ:A5/フルカラー
  • ページ数:192
  • 付録:-

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著者紹介

著者・麻蒔立男

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